目前韩国液晶产业已可生产湿法
工艺类
设备、成膜设备和干蚀刻设备等。而韩国
厂商也下大力量开发最先进的非旋转涂布光致抗蚀膜设备。
前一类设备中,韩国已可大量生产清洗设备、显影设备、湿刻蚀设备和抗蚀膜剥离设备等。这方面的大厂有韩国Semes Korea 公司、韩国DMS公司和K.C技术公司。在这些设备上,韩国国产化率已达90%。此外,生产化学气相沉积设备的有Jusung工程公司和生产干刻蚀设备的ADP工程公司等。在这些设备上韩国的国产化率已达50%。
对于非旋转涂布抗蚀膜设备,韩国最大的液晶设备厂商Semes公司已定于2006年上半年用于第7代液晶屏生产线中。他们提出的
目标是,成为世界一流的光刻工艺设备生产厂商。预计2005年的设备
销售额为约3亿美元。
韩国第2大液晶设备厂商DMS公司正与日本相关厂商进行技术合作,开发非旋转涂布抗蚀膜设备。预计将于2006年下半年将其用于第7代生产线中。实现这一目标后,韩国DMS公司将从生产清冼和显影设备的湿法工艺设备厂,升格为可生产系列光刻工艺设备的综合设备厂。
第3大设备厂K.C技术公司,已结束了非旋转涂布抗蚀膜装置开发,目前正在试用中。
上述3家设备厂,2004年的设备销售额都超过1.5亿美元。而Semes Korea公司更高达约2亿美元。
此外,专门生产显影设备的韩国系统技术公司,在设备已用于第5代线的基础上,正开发用于第7代线的显像设备。
韩国Zeus公司的玻璃基板搬运设备已用于第6代生产线。其已接受了用于第7代线的搬运设备的订货。该搬运设备采用的是Zeus公司自己开发的软件。
首次公开的液晶产业聚集区
2005年5月初,韩国
LG Philips LCD公司,首次向国外
媒体公开了其第6代液晶生产线和其液晶产业聚集区。
LG Philips LCD公司拥有从第2代至第6代各代的液晶生产线。公司本身可根据需求,灵活地调整各代生产线的生产。通过合理调配,可避免其他厂商因调整生产线所造成的损失。更重要的是,该公司目前运行的各代液晶生产线全部都集中于韩国中部地区的液晶产业聚集区。由于便于零部件的集中运输,因而可大幅度地降低
物流成本和其他生产经营成本。
应该说,针对液晶屏这种易破损、面积大和重量沉的特殊产品,整个行业的发展趋势就是集中建设液晶产业聚集区。这在减少物流成本和形成规模效应上具有极为重要的意义。
2004年8月启动的第6代生产线拥有相当7个足球场面积(约5万平方米)的超净间。其第1层是液晶Cell工序生产线,第2层是彩色滤光膜工序线,第3层是TFT阵列工序线。在生产彩色滤光膜的2层,生产设备之间有搬运1500×1850mm,厚度0.7mm的玻璃基板的AGV自动运输车。该AGV可运输30块基板。不包括支架,其本身自重达30吨。因采用全自动生产,除了超净间的检验区看到职工外,其余地方基本见不到人。截止2005年4月底,其成品率已达85%。2005年4月的月产量为6.3万片。该月产品有60%用于制作在市场上紧俏的17英寸电脑监视器。全部开动的月产量为9万片。2005年9月底便可达到这一产量。预计2005年底有60%产品用于
电视机,厂内设有“
创新学校”,进行全员职工
培训。
与该第6代生产线隔着一座大食堂的就是第5代生产线的厂房。这座3层建筑内,有两条尺寸稍有差别的第5代生产线。其第2层是这两条生产线共用的液晶cell生产车间。其一个超净间的面积就有2个足球场大(14300平方米)。
此外,在汉城北部的坡州液晶产业聚集区内,LG Philips LCD公司正在兴建第7代液晶生产厂。该生产厂是建在新开出的坚硬岩石之上。厂区长2km,宽约1km,占地面积170万平方米。紧挨4层高的第7代生产线厂房的就是5层高的液层模块厂。
在韩国坡州已规划的绵延6km的液晶产业聚集区内,已建有一些液晶零部件厂和生产设备制造厂。例如,将于2006年1月投产的日本电气硝子公司的大型玻璃基板厂。而LG Philips CLD公司计划在今后10年内在该液晶产业聚集区
投资225亿美元,建设两条更先进的生产线和其......More↓↓↓